थिरुवियारू क्षेत्र का नाम मिला क्योंकि वहां पांच नदियां हैं, जैसे कावेरी, कुदामुरुति, वेन्नारु, वेड्डारू, वडवारू इस जगह से बहती हैं। तमिल भाषा में ’आई ’ का मतलब है पांच और’आरु’का मतलब नदी है, इसलिए नाम थिरुवैयारू। यह जगह कार्नाटिक संगीत के प्रेमियों के बीच बहुत लोकप्रिय है क्योंकि इस क्षैत्र में संत त्यागराजा ने अधिकांश समय बिताया और मोक्ष प्राप्त किया। संत त्यागराजा भगवान राम को समर्पित है और उनकी कई रचनाए भगवान राम की प्रशंसा में हैं, और कहा जाता है कि उन्हें भगवान ने दर्शन से सम्मानित किया गया है। हर साल बागुला पंचमी दिवस पर संत का अराधना दिवस मनाया जाता है, और पूरे कार्नाटिक के प्रमुख संगीतकार इस समारोह में भाग लेने और इस महान संत की समाधि के सामने सर्वश्रेष्ठ गीत ’पंचरत्न कृति’ गाते हुए एक विशेषाधिकार मिलता है। यह इस समय के दौरान सभी संगीत प्रेमियों के लिए लगभग तीर्थयात्रा है।
थिरुवैयारू थंजावुर के तेरह किलोमीटर उत्तर में है, और कुम्भकोणम से 33 किलोमीटर पश्चिम में है और बस या कार से पहुंचा जा सकता है।
इस क्षेत्र का मुख्य मंदिर भगवान शिव का है जो अय्यारप्पन (तमिल नाम) या पंचनथीस्वर (संस्कृत नाम) के रूप में अध्यक्षता करता है और शक्ति को धर्मसंवर्थिनी नाम से जाना जाता है। चोल अवधि के दौरान बनाया गया मंदिर बहुत बड़ा है। ऐसे कई नयनमर्गळ हैं जिन्होंने इस भगवान की प्रशंसा में गाया था। भगवान स्वयंभू है और मिट्टी का है, इसलिए भगवान के लिए कोई अभिषेक नहीं है। तीसरे परिक्रमा के दक्षिणपश्चिम कोने से आप अय्यारा' उचारण करते हैं, आप आश्चर्यचकित होंगे आपकी आवाज सात बार गूंजती है ।
जैसा कि अन्य शिव मंदिरों के मामले में अंबाल के लिए सन्निधि एक ही परिसर में नहीं है। इस क्षैत्र का अंबाल धर्मसंवर्थिनी है। और उसकी सन्निधि मुख्य मंदिर को बढ़ावा देने के लिए एक अलग परिसर में है, जिसे धर्मसंवर्थिनी मंदिर के नाम से जाना जाता है। ध्यान देने योग्य एक और अनूठा सच यह है कि शिव मंदिर में रहते हुए अंबाल को दक्षिण की तरफ देखते देखा जाता है, लेकिन इस क्षेत्र में उसकी संनिधि पूर्व का सामना कर रही है।
वर्तमान धर्मसंवर्थिनी मंदिर की विशिष्टता और निर्माण शैली में अंतर और अय्यारप्पन मंदिर के उपयोग की जाने वाली सामग्रियों से यह कहा जाता है कि धर्मसंवाअर्थिनी सन्निधि को वर्तमान स्थान पर स्थानांतरित कर दिया गया था। वर्तमान धर्मस्वार्थिनी (धर्मबल) मंदिर की इन विशिष्टता और निर्माण शैली में अंतर और आईयरप्राण मंदिर के साथ उपयोग की जाने वाली सामग्रियों से यह कहा जाता है कि धर्मस्वार्थिनी संनथी को वर्तमान स्थान पर स्थानांतरित कर दिया गया था। देवी धर्मबल को विष्णु अम्सा के रूप में पूजा की जाती है क्योंकि वह चंगू और चक्रम और उसके ऊपरी दो हाथों मे रखती है।
ऐसा कहा जाता है कि श्री राम मंदिर अस्तित्व में थे जहां वर्तमान धर्मसंवर्थिनी मंदिर अस्तित्व में है। भगवान श्रीराम मंदिर का सामना श्री हनुमानजी के लिए छोटा मंदिर है। इस मंदिर के सामने अग्रहारम के बीच सिद्ध श्रीहनुमानजी मंदिर में इस दावे की गवाही है। जब तंजावुर मराठा शासन के अधीन थे, तब मोहनांबाल नाम से रानी श्री राम मंदिर के श्री राम और उनके परिवार की सुंदरता पर प्यार करते हैं। उसने इस मंदिर को कावेरी के दक्षिणी दट पर नए शहर में स्थानांतरित करने का फैसला किया, जिसे उसके नाम पर 'पंचनाथ मोहनांबाल पुरम' रखा गया।
1739-1763 की अवधि के दौरान तंजावुर मराठा राजा श्री प्रताप सिम्हा के शासन में थे, इसके बाद उनके बेटे श्री तुलजा द्वितीय ने। तंजावुर का राजधानी शहर विस्तार कर रहा था और प्रताप सिम्हा ने फिर व्यवस्थित तरीके से शहर का विकास किया था। अपने शासन के दौरान उन्होंने मंदिरों और चॅट्राम (रास्ते के धर्मशाला) का निर्माण किया था। श्री सेतु भावा स्वामी उनके गुरु थे। वह श्री प्रताप सिम्हा के राजधानी शहर तंजावुर में मुलाई अंजनियर मंदिर की स्थापना में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ऐसा कहा जाता है कि श्री सेतु भावा स्वामी अय्यारप्पन मंदिर के पास थिरुवैयारू में रह रहे थे। वह सड़क जहां गुरुजी रह रहे थे उनके नाम पर "भावा स्वामी अग्रहाराम" रखा गया था। सड़क धर्मसंवर्थिनी मंदिर के सामने है। यद्यपि यह निश्चित रूप से ज्ञात नहीं है कि श्री राम मंदिर किसने बनाया था, लेकिन भावा स्वामी अग्रहाराम और श्री वीरा अंजनेय के लिए मंदिर अब भी मौजूद है।
भावा स्वामी आगहरम में वीरा अंजनेय मंदिर उत्तर-पश्चिम दिशा का सामना कर रहा है, जिसे वायु मुलाई के नाम से जाना जाता है और पवन भगवान वायु द्वारा प्रतिनिधित्व किया जाता है। वायु के बेटे श्री हनुमानजी को उनके पिता का स्वागत करते हुए देखा जाता है। मुख्य संनिती के सामने एक मंडपम है, जिसे नवग्रह मंडप के नाम से जाना जाता है। मंडपम की व्यवस्था उसी शैली में की जाती है जैसे नवग्रहों की स्थिति के मामले में। भक्त अपनी प्रार्थना अपनी रसीतिपति की स्थिति से नीचे खड़े हो सकते हैं। मुख्य पवित्रतम पुण्यागार के सामने एक बाली पीट और कोडी मरम (ध्वज स्तंभ) है। ध्वज स्तंभ पीतल की चादर के साथ ढका हुआ किया है और प्रत्येक पक्ष पर श्री राम परिवार और श्री हनुमानजी का उभारा है। अन्य मंदिरों के विपरीत, मुख्य मंदिर के सभी तीनों ओर गोस्ता पिराई के नाम से "नागा" स्थापित किया जाता है। एक और असामान्य विशेषता है कि मंदिर के शीर्ष कोनों में हिरन को दिक्पालक के रूप में स्थापित किया गया था।
भगवान अभयारण्य में एक पायदान पर खड़े हैं और नवग्रह मंडप के किसी भी कोने से देखा जा सकता है। मूर्ति को तुंगभद्रा नदी के तट से लाया गया था और इसे एक हरे पत्थर से बना दिया गया है। भगवान यहां अपने दाहिने हाथ से भक्तों को अभय देते हुए देख रहे हैं, जबकि बायां हाथ अपने बाएं जांघ पर आराम कर रहा है और एक तीर पकड़ रखा है। उनका कूल्हा एक छोटे चाकू को अलंकृत कर रहा है। उनकी आंखें भक्तों पर सीधे चमकती हैं और भक्त पर अपने प्रेमपूर्ण कदक्षम को देती हैं।